半导体器件成品率与可靠性之间的关系研究

• 作者: 彭苏娥
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体器件 成品率 可靠性 预计模型
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 可靠性研究
• 页码范围: 46-48,56
• 页数: 4页
• 分类号: TO306
• 字数: 2909字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.02.014

摘要

对国外近几年在半导体器件成品率与可靠性之间的关系研究情况进行了综合、分析,介绍了成品率预计模型及其参数的选取.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭苏娥		6	36	3.0	6.0