平面直热式气敏元件及其表面修饰

• 作者: 全宝富 全海英 孙良彦 王军峰
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 平面直热式元件 NH3敏感元件 表面修饰
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 5-7
• 页数: 3页
• 分类号: TM283
• 字数: 1790字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2000.02.004

摘要

采用液相掺Sb的共沉淀方法制备低阻SnO2纳米微粉,以其为敏感材料掺入Pt2wt%及Au5.4at%的催化剂,在Si衬底上制作了平面直热式气敏元件.利用2%的Co(NO3)3溶液作为修饰液对元件进行表面修饰,可制得对NH3具有较高灵敏度及选择性的敏感材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	全海英	吉林大学电子工程系	7	124	4.0	7.0
2	全宝富	吉林大学电子工程系	46	350	10.0	16.0
3	孙良彦	吉林大学电子工程系	9	101	6.0	9.0
4	王军峰	吉林大学电子工程系	1	8	1.0	1.0