用于微机械器件的Fe-Ni合金电镀沉积膜的性能

• 作者: 张轩雄 熊幸果 王渭源 陈垚
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 Fe-Ni合金电镀沉积膜 内应力 热膨胀系数 Young's模量 内耗
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 页码范围: 525-529
• 页数: 5页
• 分类号: TQ153.2|O484.4
• 字数: 4157字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2000.05.016

摘要

结合Si体微机械技术和电镀技术加工出Fe-Ni/Cu/Si复合悬臂梁,其中Fe-Ni膜厚3 μm,Cu膜厚0.2 μm.利用共振法首次测出在1.3 Pa气压下,复合悬臂梁中Fe-Ni(Fe 64,Ni 36,质量分数,%,下同)电镀沉积膜的内耗为10-3.利用自行设计的微力/微位移天平法,测出Fe-Ni(Fe 57,Ni 43)/Cu/Si复合悬臂梁的Young's模量为1.0×1011N/m2.Fe-Ni电镀沉积膜的内应力随膜中Fe含量的增加先是增大然后减小.在Invar合金(Fe 64,Ni 36)成分附近达到最大约300 MPa.Fe-Ni电镀膜的热膨胀系数与膜中Fe含量关系则与内应力相反,但与合金体材料变化趋势一致,在Invar合金成分附近达到最小,其值高于相应成分的合金体材料,约6×10-6/℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王渭源	中国科学院上海冶金研究所	8	125	7.0	8.0
2	陈垚	中国科学院上海冶金研究所	4	6	2.0	2.0
3	张轩雄	中国科学院上海冶金研究所	3	5	2.0	2.0
4	熊幸果	中国科学院上海冶金研究所	2	6	2.0	2.0