真空镀膜机改装成热丝CVD系统

• 作者: 任志昂 唐碧玉
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 工学
• 关键词: 蒸发镀膜 改装 热丝CVD系统
• 年，卷（期）: 2000,（10）
• 所属期刊栏目: 实验技术与技巧
• 页码范围: 41-42
• 页数: 2页
• 分类号: TP3
• 字数: 815字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2000.10.020

摘要

通过重新设计和改造镀膜室,增添新引线和引进进气系统,将蒸发镀膜装置改装成新型热丝CVD(化学气相沉积)系统.性能参数测试结果表明,改装后的装置完全达到化学气相沉积系统的要求,能进行金刚石、BCN材料等物质的化学气相沉积,同时也完好地保留了原有真空镀膜的功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任志昂	湘潭大学物理系	19	60	4.0	7.0
2	唐碧玉	湘潭大学物理系	5	1	1.0	1.0