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CVD金刚石薄膜抛光技术的研究进展
CVD金刚石薄膜抛光技术的研究进展
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金刚石薄膜的研究进展
金刚石薄膜
合成方法
成核机理
影响因素
应用领域
直流等离子体CVD金刚石薄膜涂层设备的研制
化学气相沉积
等离子体炬
金刚石膜
CVD金刚石的机械加工工具应用
CVD金刚石
工具应用
磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
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真空科学与技术学报
主办单位：
中国真空学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
开本：
大16开
出版地：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
邮发代号：
创刊时间：
1981
语种：
chi
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