硅应变计的氮化硅钝化新技术

• 作者: 李丹 钱静波
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅应变计 氮化硅钝化 半导体
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 实用技术
• 页码范围: 40-41
• 页数: 2页
• 分类号: TQ127.2|TP212.1
• 字数: 1657字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2000.06.014

摘要

介绍一种硅应变计,通过使用同种材料、采用两种不同的工艺技术对比试验,测试结果表明,氮化硅钝化技术制造的产品性能优于常规半导体技术制作的同类产品.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李丹		10	64	4.0	8.0
2	钱静波		1	2	1.0	1.0