硅片抛光剂SiO2溶胶的制备和性能研究

• 作者: 温劲波
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 化学
• 关键词: SiO2溶胶 硅片抛光剂 超微细 稳定性
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 分类号: O6
• 字数: 1835字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2000.01.007

摘要

以NaOH和有机碱为介质,制成两种乳白色碱性SiO2溶胶,溶胶粒径在50～70nm范围,性能稳定.当SiO2浓度低于50%(质量分数)、pH=8.5～11时,溶胶可以长时间存放而不沉淀分层.超微SiO2颗粒细制成的两种SiO2溶胶粘度低,能通过中速滤纸.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温劲波		1	6	1.0	1.0