铁电-硅集成微麦克风和扬声器的理论设计

• 作者: 任天令 刘理天 张林涛 李志坚
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 集成微麦克风和微扬声器 Pb(Zr,Ti)O3( PZT) 铁电薄膜
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 234-236
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1|TM22.1
• 字数: 1800字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2000.04.008

摘要

在现有 Pb(Zr,Ti )O3(PZT)铁电薄膜的制备工艺基础上,提出并设计了可集成在同一芯片上的基于 PZT铁电薄膜的压电型微麦克风、扬声器结构,对其灵敏度和声输出进行了理论计算.比较了基于PZT和ZnO两种材料的微麦克风和扬声器的性能差异.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子所	87	600	13.0	19.0
3	李志坚	清华大学微电子所	84	451	11.0	15.0
4	张林涛	清华大学微电子所	10	68	5.0	7.0