定向金刚石膜的合成及机理探索

• 作者: 任志昂 唐璧玉 杨国伟 蔡孟秋
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 化学汽相淀积 定向金刚石膜 无定形碳 表面扩散
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文与技术报告
• 页码范围: 150-152
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.1+8
• 字数: 2247字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2000.02.021

摘要

采用热丝化学汽相淀积(CVD),未用别的辅助措施,合成了(100)晶面的金刚石膜.结合CVD金刚石成核的微观过程,探讨了定向金刚石膜的形成机理.发现和研究了表面扩散对CVD金刚石成核的重要影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨国伟	湘潭大学物理系	28	144	6.0	11.0
2	任志昂	湘潭大学物理系	19	60	4.0	7.0
3	唐璧玉	湘潭大学物理系	9	12	2.0	3.0
4	蔡孟秋	湘潭大学物理系	9	15	3.0	3.0