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摘要:
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石墨衬底生长高质量金刚石膜的优势
石墨衬底
晶体取向
热导率
断裂强度
温度监控装置在CVD金刚石膜沉积设备中的应用
温度监控
红外测温仪
遥控
信号发射器
信号接收器
金刚石膜介电性能影响因素的研究
金刚石
自支撑金刚石膜
杂质
介电性能
直流电弧等离子喷射法沉积大面积金刚石厚膜的研究
直流电弧等离子喷射
CVD
自支撑金刚石厚膜
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 衬底温度对金刚石膜选择性沉积的影响
来源期刊 上海大学学报(英文版) 学科
关键词
年,卷(期) 2000,(2) 所属期刊栏目 材料科学与工程
研究方向 页码范围 151-154
页数 4页 分类号
字数 语种 英文
DOI
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期刊影响力
上海大学学报(英文版)
季刊
eng
出版文献量(篇)
1423
总下载数(次)
1
相关基金
上海市自然科学基金
英文译名:
官方网址:http://www.lawyee.net/Act/Act_Display.asp?RID=46696
项目类型:面上项目
学科类型:
论文1v1指导