多束动态混合注入技术制备TiN厚膜的工艺、结构及性能研究

• 作者: 任春生 刘振民 杨黎明 牟宗信 龙振湖
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多束动态混合 离子束辅助沉积 离子注入 择优取向
• 年，卷（期）: 2000,（10）
• 页码范围: 678
• 页数: 5页
• 分类号: TG174|TG442
• 字数: 2766字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2000.10.002

摘要

在多束动态混合(MBMI)-注入系统上利用MBMI技术制备TiN膜，XRD分析表明，N入射角度α(o)、氮钛原子到达比RN/Ti、N2分压PN2对膜生长的择优取向及相结构有影响；性能研究结果表明，高的入射离子能量Ei、基体温度Ts以及合适的RN/Ti对TiN膜的显微硬度HK和膜 -基结合力都有正面影响。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任春生	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	31	191	8.0	12.0
2	牟宗信	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	38	217	10.0	12.0
3	刘振民	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	13	167	7.0	12.0
4	龙振湖	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	4	31	3.0	4.0
5	杨黎明	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	1	1	1.0	1.0