激光全息光刻技术及其应用

• 作者: 宋登元 王小平
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光 全息光刻 光电子器件
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2219字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.02.004

摘要

论述了激光全息光刻技术的基本原理、发展状况和在制备衍射光栅及场发射平板显示器等光电子器件方面的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋登元	河北大学电子与信息工程系	14	194	6.0	13.0
2	王小平		9	60	3.0	7.0