Al2O3陶瓷表面的准分子激光活化沉积金属Cu技术

• 作者: 冯钟潮 梁勇 武颖娜
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光 Al2O3 Cu膜 Al富集区
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 激光应用与系统
• 页码范围: 43-44
• 页数: 2页
• 分类号: TQ17
• 字数: 804字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2000.05.018

摘要

本文研究了通过XeCl准分子激光照射Al2O3陶瓷表面后,使其表面沉积金属Cu的技术.实验结果表明,Al2O3试样浸入Cu2SO4溶液后,金属Cu膜只沉积于激光照射区.经准分子激光照射,Al2O3表面结构的变化和Al富集区的产生是金属Cu沉积的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁勇	中国科学院金属研究所	88	1472	21.0	35.0
2	武颖娜	中国科学院金属研究所	11	155	8.0	11.0
3	冯钟潮	中国科学院金属研究所	11	113	8.0	10.0