TiO2/V2O5双层薄膜的TMA气敏特性研究

• 作者: 何秀丽 吴远大 戴国瑞 童茂松 高鼎三
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 物理学
• 关键词: TiO2/V2O5双层薄膜 等离子增强化学气相沉积 溶胶-凝胶 三甲基胺气敏特性
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 5-6,10
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2000.04.002

摘要

报道了以TiCl4和V2O5为源,采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)和溶胶-凝胶(sol-gel)技术制备了TiO2/V2O5双层薄膜,将该薄膜沉积在带有金梳状电极的陶瓷管和硅片上,进行了X射线衍射(XRD)分析,并且测量其对三甲基胺(TMA)的气敏特性.结果发现该双层薄膜对TMA具有高灵敏度、良好的选择特性和快速的响应恢复特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高鼎三	吉林大学集成光电子国家重点联合实验室	10	167	6.0	10.0
2	童茂松	吉林大学集成光电子国家重点联合实验室	4	25	2.0	4.0
3	戴国瑞	吉林大学集成光电子国家重点联合实验室	6	25	2.0	5.0
4	吴远大	吉林大学集成光电子国家重点联合实验室	10	60	4.0	7.0
5	何秀丽	吉林大学集成光电子国家重点联合实验室	4	22	2.0	4.0