用于扫描探针显微镜的复合型三维压电扫描器

• 作者: 丁琳 刘秀梅 洪涛 王佳
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描近场光学显微镜 扫描探针显微镜 压电扫描器
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 30-32,51
• 页数: 4页
• 分类号: TH742
• 字数: 408字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2000.01.010

摘要

三维压电陶瓷扫描器是扫描探针显微镜的关键部件.本文作者设计制作了一种复合型三维压电陶瓷扫描器,并对扫描器的性能进行了检测.当激励电压为±400V时其扫描范围达到13μm×13μm.其x,y方向的非线性度小于0.36%,z方向的非线性度小于0.14%.这种扫描器被用于扫描近场光学显微镜探测系统中.