论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 综合期刊 \
- 其它期刊 \
- 等离子体应用技术快报期刊 \
不同尺寸PACVD反应器内工艺参数对TiN生长的影响
推荐文章
不同接种污泥对ANAMMOX反应器启动的影响研究
厌氧氨氧化
接种污泥
快速启动
脱氮效率
不同推进式桨叶对搅拌反应器内气液两相混合特性的影响
推进式桨叶
两相流
混合特性
计算流体力学
搅拌器
不同推进式桨叶对搅拌反应器内气液两相混合特性的影响
推进式桨叶
两相流
混合特性
计算流体力学
搅拌器
不同尺寸反应器内H2O2热分解氧化NO特性与氧化产物分析
H2O2热分解
NO
氧化
蒸发条件
反应器
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
| 篇名 | 不同尺寸PACVD反应器内工艺参数对TiN生长的影响 | ||
| 来源期刊 | 等离子体应用技术快报 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | PACVD反应器 工艺参数 氮化钛 薄膜 沉积 | ||
| 年，卷（期） | 2000,（10） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 21-23 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | O484.1 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
2000(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
PACVD反应器
工艺参数
氮化钛
薄膜
沉积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
等离子体应用技术快报
主办单位：
核工业西南物理研究院
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
864
总下载数（次）
2
总被引数（次）
0
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
等离子体应用技术快报2000
等离子体应用技术快报1999
等离子体应用技术快报1998
等离子体应用技术快报1997
等离子体应用技术快报1996
等离子体应用技术快报1995
等离子体应用技术快报1994
等离子体应用技术快报2000年第9期
等离子体应用技术快报2000年第8期
等离子体应用技术快报2000年第7期
等离子体应用技术快报2000年第6期
等离子体应用技术快报2000年第5期
等离子体应用技术快报2000年第4期
等离子体应用技术快报2000年第3期
等离子体应用技术快报2000年第2期
等离子体应用技术快报2000年第12期
等离子体应用技术快报2000年第11期
等离子体应用技术快报2000年第10期
等离子体应用技术快报2000年第1期
