一种新型硅基PT/PZT/PT夹心结构的电性能研究

• 作者: 任天令 刘理天 张林涛 张武全 李志坚 李春晓
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: PZT PT 夹心结构 溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 实验技术与测试方法
• 页码范围: 407-409
• 页数: 3页
• 分类号: TM22.1|TN43
• 字数: 2447字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2000.06.018

摘要

以无机锆盐为原料,用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法成功地在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出一种新型PbTiO3/Pb(Zr0.53Ti0.47)O3/PbTiO3(PT/PZT/PT)夹心结构.这种新结构对于PZT的晶化有很好的促进作用,其最终的退火温度为700 °C.C-V特性、介电频率响应、漏电等电性能测试表明这一新型夹心结构具有良好的铁电和介电性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子所	87	600	13.0	19.0
3	李志坚	清华大学微电子所	84	451	11.0	15.0
4	张林涛	清华大学微电子所	10	68	5.0	7.0
5	张武全	清华大学微电子所	4	42	4.0	4.0
6	李春晓	清华大学微电子所	5	57	3.0	5.0