类金刚石薄膜厚度的测量

• 作者: 王珉 袁安富
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 厚度测量 PVD
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TQ15
• 字数: 2599字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2000.02.007

摘要

采用真空等离子沉积的类金刚石膜,它属于一种超薄性的薄膜.在诸多的测量方法中,本文采用了椭圆偏振光测量法来测量薄膜的厚度.该方法运用布鲁斯特角,并根据起偏器、检偏器和四分之一波片精确测量了薄膜的厚度.在测量薄膜厚度的同时也可知道所沉积膜的均匀性情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王珉	南京航空航天大学机电学院	205	2631	27.0	40.0
2	袁安富	南京航空航天大学机电学院	6	39	2.0	6.0