0.5～100毫米一等量块的光波干涉测量

• 作者: 李小林 黄晓蓉
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 一等量块 干涉条纹小数 光波相位修正 不确定度
• 年，卷（期）: 2000,（10）
• 所属期刊栏目: 检定与规程
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: TB9
• 字数: 3026字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2000.10.012

摘要

本文拟从测量系统、不确定度与测量结果这两个方面介绍我院测量不确定度为U99≤(0.02+0.2L)μm的一等量块光波干涉测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李小林		4	5	2.0	2.0
2	黄晓蓉		4	6	2.0	2.0