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净化
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脉冲放电
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活化
协同效益
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 组合脉冲—稳态的脉冲等离子体沉积
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 工学
关键词 涂层材料 辉光放电 等离子体涂层 TIN涂层 氮化肽 组合脉冲-稳态 脉冲等离子体沉积
年,卷(期) 2000,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 7-9
页数 3页 分类号 TG174.442
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研究主题发展历程
节点文献
涂层材料
辉光放电
等离子体涂层
TIN涂层
氮化肽
组合脉冲-稳态
脉冲等离子体沉积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
等离子体应用技术快报
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