微空气桥隔离的自对准AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管

• 作者: 严北平 张鹤鸣 戴显英
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管 自对准结构 微空气桥隔离腚
• 年，卷（期）: 2000,（11）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 132-133,136
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.2+3|TN325+.3|TN322+.8
• 字数: 1441字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2000.11.037

摘要

利用微空气桥隔离和自对准技术成功地研制出了自对准结构的AlGaAs/GaAs异质结双极晶体管.器件展现出良好的直流和高频特性.对于发射极面积为2μm×15μm的器件,直流电流增益大于10,失调电压(Offsetvoltage)200mV;电流增益截止频率fT大于30GHz,最高振荡频率fmax约为50GHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴显英	西安电子科技大学微电子学研究所	55	329	10.0	15.0
2	张鹤鸣	西安电子科技大学微电子学研究所	102	510	12.0	16.0
3	严北平	西安电子科技大学微电子学研究所	5	7	2.0	2.0