精密工作台伺服控制系统研究

• 作者: 于水 李云平 李庆祥 白立芬
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 精密工作台 PWM 低速爬行 死区
• 年，卷（期）: 2000,（Z1）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表科研成果
• 页码范围: 152-154
• 页数: 3页
• 分类号: TH7
• 字数: 1679字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2000.Z1.062

摘要

随着精密工作台运动速度和精度的进一步提高,对工作台的控制系统的要求也越来越高.本文针对微器件装配系统中粗动精密工作台的控制,研究了直流力矩电机的脉宽调制(PWM)驱动方法,控制系统通过引入速度和电枢电压负反馈,较好地解决了精密工作台低速爬行、死区和机械谐振等问题,满足了系统对运动快速性、低速平衡性和高精度的要求,最高调速比可达1294,工作台重复精度达±1μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆祥	清华大学精密仪器与机械学系	84	2180	20.0	45.0
2	白立芬	清华大学精密仪器与机械学系	23	478	10.0	21.0
3	于水	清华大学精密仪器与机械学系	11	184	5.0	11.0
4	李云平	清华大学精密仪器与机械学系	1	0	0.0	0.0