ZRO_2膜的相结构与显微组织

• 来源期刊: 化学工程师
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锆 相结构 显微组织
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 页码范围: 62-63
• 页数: 2页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文

摘要

该文用X射线衍射和扫描电镜研究了ZRO2膜的晶体结构和显微组织.结果表明ZRO2膜的相结构为立方氧化锆(C－ZRO2),晶粒尺寸细微.发现ZRO2膜中存在具有{111}面织构的柱状晶结构,这种结构可用基片负偏压消除.