用扫描热显微镜测量亚微米尺度的局域热参数分布

• 作者: 晋宏师 王秀凤 董占民 谢志刚 陈皓明 韩立 顾毓沁
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描热显微镜 热参数 热桥 半导体激光器
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 620-624
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 3037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2000.06.018

摘要

从集总参数模型出发,分析了热敏电阻型热探针的热传导机制和热物性测量机理,说明了扫描热探针的信号与样品表面温度,样品与探针间的热阻以及样品热导率等因素有关.在不同的工作条件下,可用以进行表面的温度分布和局域热导分布等热参数的测量.把扫描热显微镜用于半导体激光器结区温度分布和室温下热桥样品的实际测量,得到的热象图提供了亚微米尺度的热参数信息.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王秀凤	清华大学物理系固体物理研究所	14	92	7.0	9.0
2	谢志刚	清华大学物理系固体物理研究所	7	92	3.0	7.0
3	韩立	清华大学物理系固体物理研究所	11	83	5.0	9.0
4	陈皓明	清华大学物理系固体物理研究所	16	270	7.0	16.0
5	顾毓沁	清华大学机械系热物理教研室	13	104	6.0	10.0
6	董占民	清华大学物理系固体物理研究所	10	31	3.0	5.0
7	晋宏师	清华大学机械系热物理教研室	3	7	1.0	2.0