光电材料的俄歇电子谱分析

• 作者: 何伟全 尹燕萍 杨晓波 罗江财
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 俄歇电子能谱 元素组分 定性分析 组分深度分布
• 年，卷（期）: 2000,（z1）
• 所属期刊栏目: 研究论文与技术报告
• 页码范围: 84-86
• 页数: 3页
• 分类号: TN204|TN206
• 字数: 2830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2000.z1.023

摘要

俄歇电子能谱(AES)是测定固体表面元素组分的分析技术。由于AES具有很高的空间分辨率和表面灵敏度，并可以通过离子束溅射刻蚀获得组分深度剖面分布，所以它在各种材料，特别是微电子材料、光电子材料和纳米薄膜材料的分析中应用广泛。文章详细地介绍了PHI595型多探针俄歇电子能谱仪及其在光电子材料分析中的应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何伟全		2	6	2.0	2.0
2	杨晓波		11	33	3.0	5.0
3	罗江财		4	5	2.0	2.0
4	尹燕萍		2	8	2.0	2.0