Mo对多弧离子镀(Ti,Mo)xN涂层组织与性能的影响

• 作者: 吴起白 曾鹏 胡社军 谢光荣 黄拿灿
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 (Ti,Mo)xN涂层 组织性能 成分离析
• 年，卷（期）: 2000,（8）
• 所属期刊栏目: 组织与性能
• 页码范围: 7-9,12
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 1841字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2000.08.004

摘要

采用Ti/Mo复合靶,用多弧离子镀技术沉积了(Ti,Mo)xN多元涂层,研究了Mo对该涂层组织与性能的影响.结果表明,涂层的主要结构为(Ti,Mo)2N,其中Mo的固溶度可达4.56%(质量分数),并具有较高的显微硬度、抗氧化性和低的孔隙率.在沉积过程中存在着多元合金涂层与复合靶的成分离析现象,这与靶材的结构有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾鹏	广东工业大学机械系	64	572	13.0	20.0
2	胡社军	广东工业大学机械系	66	842	14.0	26.0
3	谢光荣	广东工业大学机械系	82	729	14.0	23.0
4	黄拿灿	广东工业大学机械系	48	688	14.0	24.0
5	吴起白	广东工业大学机械系	28	190	9.0	12.0