光学接触式微型三维测量系统

• 作者: E Trapet H Schwenke 吉贵军 罗震
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 三维微型测头 光学接触式方法 微型工件
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 研究通讯和短文
• 页码范围: 95-97
• 页数: 3页
• 分类号: TH7
• 字数: 2225字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2000.01.028

摘要

本文介绍了一种集光学方法的高准确度和快速性及机械接触方法的可靠性和不受材料特性影响的单一性优点于一体的光学接触式微型三维测量系统,用于测量微型工件的三维几何参数.该系统测头直径为40～100μm,测量准确度优于1μm,测量力小于10μN,并给出了部分典型微型工件的测量结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗震		133	739	14.0	18.0
2	吉贵军		2	28	2.0	2.0
3	H Schwenke		1	16	1.0	1.0
4	E Trapet		1	16	1.0	1.0