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摘要:
扼要介绍了通常的硅CMOS、双极和BiCMOS技术以及GaAs、GeSi技术的发展趋势,同时也介绍了高速集成技术发展中引入的一些新技术。
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文献信息
篇名 集成电路工艺技术及其应用的发展趋势
来源期刊 电子元器件应用 学科 工学
关键词 集成电路 微电子 MOS 双极 GAAS BICMOS
年,卷(期) 2000,(10) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 6-13
页数 8页 分类号 TN432.05
字数 语种
DOI
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作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 郭树田 7 3 1.0 1.0
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2000(0)
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研究主题发展历程
节点文献
集成电路
微电子
MOS
双极
GAAS
BICMOS
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子元器件应用
月刊
1563-4795
大16开
西安市科技路37号海星城市广场B座240
1999
chi
出版文献量(篇)
5842
总下载数(次)
7
总被引数(次)
11366
论文1v1指导