硬质合金刀具基体沉积低表面粗糙度金刚石薄膜的工艺研究

• 作者: 孙方宏 张志明 沈荷生 胡德金 陈明
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石薄膜 表面粗糙度 碳源浓度 沉积气压
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 9-13
• 页数: 5页
• 分类号: TG5
• 字数: 2565字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2000.03.003

摘要

CVD金刚石薄膜刀具的表面粗糙度是影响刀具切削性能的重要参数.为通过改进CVD沉积工艺减小金刚石薄膜表面粗糙度,提出了适当提高碳源浓度和合理控制沉积气压两项新的工艺方法,并通过切削试验研究了其对金刚石薄膜刀具耐用度及切削性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙方宏	上海交通大学机械工程学院	91	969	17.0	25.0
2	陈明	上海交通大学机械工程学院	192	1907	22.0	35.0
3	胡德金	上海交通大学机械工程学院	191	2625	26.0	42.0
4	张志明	上海交通大学机械工程学院	46	553	15.0	21.0
5	沈荷生	上海交通大学机械工程学院	45	494	12.0	20.0