厚、薄膜电阻激光快速微调技术

• 作者: 张景旭 田兴志
• 来源期刊: 光机电信息
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2000,（7）
• 所属期刊栏目: 新技术应用
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 2130字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1180.2000.07.009

摘要

详细介绍了激光微调厚薄膜电阻的基理、激光调阻系统的构成、激光器选择、光束定位扫描系统及实时检测原理,并给出了调阻过程中各种相关参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田兴志	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	226	7.0	13.0
2	张景旭	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	114	1019	18.0	26.0