基于微力传感的扫描近场声显微镜

• 作者: 张鸿海 徐龙 汪学方 王生
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描近场声显微镜 微力传感器 分辨率
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: TH7
• 字数: 1772字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2000.04.011

摘要

描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜(SNAM).以谐振频率为1MHz的未封装伸长型晶振作为微力传感器逼近样品表面,在此过程中晶振受到流体阻尼,其振动特性发生变化,通过检测振动幅值的变化即可获得样品表面形貌信息.在分析SNAM检测机理的基础上设计了SNAM系统,测量时的垂直分辨率可达到纳米级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王生	华中理工大学机械学院	3	7	1.0	2.0
2	张鸿海	华中理工大学机械学院	5	14	2.0	3.0
3	汪学方	华中理工大学机械学院	3	7	1.0	2.0
4	徐龙	华中理工大学机械学院	4	14	2.0	3.0