采用频谱分析技术的高分辨率微位移测量方法

• 作者: 刘永智 周元庆 周晓军 袁纵横
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微位移测量 干涉仪 数字滤波 快速傅里叶变换
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 研究通讯和短文
• 页码范围: 100-103
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 字数: 2170字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2000.01.030

摘要

本文提出了具有高分辨率的微位移测量方法.该方法采用频谱分析技术对干涉条纹进行快速傅里叶变换(FFT)和滤波处理,消除了噪声和干扰,获得了清晰的干涉条纹.检测处理后的干涉条纹的移动就能准确地测量出位移.采用CCD摄像机、图像卡和计算机,结合本文设计的麦克尔逊干涉仪对压电晶体(PZT)的位移曲线进行了测量.结果表明,该方法能达到极高的分辨率,在总采样点为512,连续测量时,最小分辨率达到1.3nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘永智	电子科技大学光电子技术系	192	1583	19.0	29.0
2	周晓军	电子科技大学光电子技术系	58	354	10.0	14.0
3	周元庆	电子科技大学光电子技术系	2	28	2.0	2.0
4	袁纵横	电子科技大学光电子技术系	5	51	4.0	5.0