通过数据处理实现微细台阶面的测量

• 作者: 周明宝 林大键 郭履容 郭永康
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 微结构 表面形貌 数据处理 相移干涉
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 219-223
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 3051字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2000.03.008

摘要

分析了微细台阶面表面形貌测量可能会出现平滑或失真现象的根源,提出一种基于测量数据分析和数据处理的解决方法.此方法已成功地应用于自行研制的衍射光学元件三维表面形貌测量系统中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林大键	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	7	164	5.0	7.0
2	周明宝	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	7	159	5.0	7.0
3	郭履容	四川联合大学物理系	3	118	2.0	3.0
4	郭永康	四川联合大学物理系	3	118	2.0	3.0