NbN/TaN纳米多层膜的微结构及超高硬度效应

• 作者: 李戈扬 许俊华 顾明元
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: NbN/TaN纳米多层膜 微结构 超硬效应
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 561-564
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2160字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2000.03.033

摘要

用磁控反应溅射的方法在不锈钢基片上制备了NbN/TaN纳米多层薄膜,试验采用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)及显微硬度仪对薄膜的微结构和硬度进行分析,结果表明:在NbN/TaN多层膜中,NbN层为面心晶体结构,TaN层为六方晶体结构;NbN/TaN纳米多层膜存在超硬效应,在调制周期2.317.0nm这一较宽的范围内保持超高硬度,硬度最大值HK达51.0GPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾明元	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	82	1649	22.0	37.0
2	李戈扬	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	109	1036	18.0	25.0
3	许俊华	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	12	160	7.0	12.0