金属等离子体浸没Ta+和Ti+离子注入

• 作者: 侯君达 张孝吉 张涛 张荟星 曾照明 朱剑豪 田修波
• 来源期刊: 北京师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 金属离子注入 等离子体浸没 表面改性
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 页码范围: 181-183
• 页数: 3页
• 分类号: TL503.3
• 字数: 1880字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0476-0301.2000.02.009

摘要

采用由阴极真空弧等离子体源、负脉冲高压靶台和磁过滤系统组成的金属等离子体浸没注入系统,实现Ta+和Ti+浸没注入,并对离子注入层予以表征.结果表明,等离子体浸没离子注入钽和钛的RBS分析射程,低于按设定加速电压的注入能量计算的TRIM射程.