大范围高分辨率法-珀干涉仪

• 作者: 余载泉 徐毅 徐毓娴 许婕
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 法-珀干涉仪 纳米测量 扩大测量范围
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 仪器与设计
• 页码范围: 199-201
• 页数: 3页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3194字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2000.03.028

摘要

法-珀干涉仪有较高的分辨率,但是由于受到激光器模间隔的限制,测量范围较小.介绍了使用换模锁定法对其进行扩展,实现了具有较大测量范围及纳米分辨率和测量精度的法-珀干涉仪,扩展了法-珀干涉仪的测量范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许婕		10	134	8.0	10.0
2	徐毅		15	320	10.0	15.0
3	徐毓娴	清华大学精仪系	21	417	10.0	20.0
4	余载泉	清华大学精仪系	1	21	1.0	1.0