熔盐热析出反应金属化Si3N4与Si3N4的连接

• 作者: 潘伟 郑仕远 陈健 黄勇
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钛 金属化 氮化硅 连接 界面结构
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 504-510
• 页数: 7页
• 分类号: TQ174
• 字数: 4181字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2000.03.022

摘要

在采用熔盐热析出反应在Si3N4陶瓷表面沉积钛金属膜的基础上,对CuAg合金在金属化表面的润湿性进行了研究,结果表明,CuAg合金能对采用该方法金属化的Si3N4陶瓷实现良好润湿.在此基础上,成功实现了钛金属化Si3N4陶瓷与Si3N4陶瓷的连接并对连接工艺进行了系统研究.连接界面的TEM研究发现,界面上广泛存在Ti-Cu-Si-N相并对这种相对连接强度的影响进行了讨论.