光化学汽相沉积中光激活物质的理论解析

• 作者: 孙建诚 李培咸
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光激活 光化学汽相淀积 迁移长度
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 光电子学
• 页码范围: 78-81
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 1872字
• 语种: 中文

摘要

基于光激活物质空间迁移长度的概念,推导出方形反应空间中到达基片上单位面积的光激活物质总数的解析表达式,对光化学汽相沉积中淀积速率和基片位置的关系进行了模拟和分析.模拟结果同实验结果符合良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙建诚	西安电子科技大学微电子研究所	6	10	2.0	3.0
2	李培咸	西安电子科技大学微电子研究所	36	324	10.0	17.0