大面积生长金刚石相关物理参量的空间分布

• 作者: 孙超 宋贵宏 王冰 闻立时 黄荣芳
• 来源期刊: 材料研究学报
• 学科: 化学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石膜 大面积生长 物理参数分布
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 609-614
• 页数: 6页
• 分类号: O613
• 字数: 2774字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-3093.2000.06.011

摘要

研究了在热丝化学气相生长金刚石的过程中,衬底温度,衬底表面附近的气体温度以及气流的质量流密度分布对金刚石膜的形核和生长的影响模拟计算结果表明,这三个参量是空间位置的函数,在某些区域,这三个参量均匀分布当热丝阵列面与衬底间距离超过7mm之后,这三个参量在衬底上有一个较大的均匀区域,在该区域的两侧,各参量值显著变化在衬底中心的均匀区域,金刚石膜晶形清楚而致密;偏离该区域,这三个参量数值明显下降,形核密度和生长速度较低,三个参量值均匀的区域可作为金刚石大面积均匀的形核和生长的位置.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙超	中国科学院金属研究所	126	1708	23.0	34.0
2	王冰	中国科学院金属研究所	37	381	11.0	19.0
3	黄荣芳	中国科学院金属研究所	37	704	16.0	25.0
4	闻立时	中国科学院金属研究所	117	1859	24.0	36.0
5	宋贵宏	中国科学院金属研究所	3	46	3.0	3.0