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超薄栅氧化层中的软击穿的击穿机理和击穿模型
超薄栅氧化层
软击穿
直接隧穿
GaAs MESFET肖特基结参数表征及其应用
金属半导体场效应晶体管
参数提取
寄生电阻
薄栅氧化层斜坡电压TDDB击穿参数的研究
薄栅氧化物
TDDB
斜坡电压法
击穿参数
薄栅氧化层经时击穿的实验分析及物理模型研究
薄栅氧化层
经时击穿
衬底热载流子
击穿电荷
模型
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 薄栅氧化层经时击穿的参数表征研究
来源期刊 物理学报 学科
关键词
年,卷(期) 2000,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1163
页数 5页 分类号
字数 3205字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1000-3290.2000.06.030
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物理学报
半月刊
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1933
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