传输线模型测量Au/Ti/p型金刚石薄膜的欧姆接触电阻率

• 作者: 何山虎 刘雪芹 杨映虎 王亚凡 王印月 甄聪棉 阎志军 龚恒翔
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石薄膜 欧姆接触 接触电阻率
• 年，卷（期）: 2000,（7）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 1348-1351
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2000.07.027

摘要

采用传输线模型测量了重B掺杂p型金刚石薄膜(约1020cm-3)上Ti/Au欧姆接触电阻率ρc,测试了500℃退火前后及大电流情况下的I-V特性,研究了退火对ρc的影响.结果表明,重掺杂和退火工艺是改善欧姆接触的有效手段.ρc随测试温度的变化表明金属/半导体接触界面载流子输运机制为隧道穿透.而光照对ρc影响的分析表明金刚石可作为理想窗口材料.测试得到的最低ρc值约为10-4Ωcm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王印月	兰州大学物理系	39	567	15.0	23.0
2	刘雪芹	兰州大学物理系	19	195	8.0	13.0
3	何山虎	兰州大学物理系	7	77	5.0	7.0
4	甄聪棉	兰州大学物理系	8	89	4.0	8.0
5	龚恒翔	兰州大学物理系	7	114	4.0	7.0
6	杨映虎	兰州大学物理系	13	137	7.0	11.0
7	阎志军	兰州大学物理系	4	45	3.0	4.0
8	王亚凡	兰州大学物理系	1	17	1.0	1.0