GaAs单片集成激光器驱动电路在片测量

• 作者: 孙伟 孙建国 张慕义 张玉清 田小建 衣茂斌 马振昌
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电光采样 在片测量 单片集成电路 增益开关激光器 微波探针
• 年，卷（期）: 2000,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1010-1013
• 页数: 4页
• 分类号: TN307
• 字数: 3193字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2000.10.013

摘要

用多触头微波探针，对GaAs单片集成激光器驱动电路芯片进行了在片测试和筛选，测得芯片频率响应带宽为3.8GHz.使用高速增益开关半导体激光器作为采样光脉冲源，采用了背面直接采样方式建立了电光采样测试仪.检测了GaAs单片集成激光器驱动电路芯片内部点的高速电信号波形.