非晶金刚石薄膜的拉曼光谱研究

• 作者: 周友国 彭少麒 杨增红 范家海 陈弟虎 魏爱香
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 非晶金刚石薄膜 拉曼光谱 表面形貌
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 179-182
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 1772字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2000.01.032

摘要

碳离子的能量是影响非晶金刚石薄膜结构和性质最关键的工艺参数. 采用磁过滤真空溅射离子技术,研究不同衬底偏压V b(即不同碳离子能量)下制备的非晶金刚石薄膜的拉曼光谱和表面形貌. 结果表明: -50V V b-10V时,样品表面均匀、光滑,拉曼谱是对称且很宽的散射带;V b>-10V 或V b<-50V时,已有晶团出现,表面粗糙度明显增加,拉曼谱明显地分裂为1580cm-1的G带和1350cm-1的D带.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈弟虎	中山大学物理系	42	160	6.0	11.0
2	魏爱香	中山大学物理系	4	19	2.0	4.0
6	周友国		4	17	2.0	4.0
7	范家海		1	13	1.0	1.0
8	杨增红		2	13	1.0	2.0
9	彭少麒	中山大学物理系	2	16	2.0	2.0