半导体制造业的环境污染与清洁生产

• 作者: 余刚 罗玉(车舟)
• 来源期刊: 环境保护
• 学科: 地球科学
• 关键词: 半导体制造业 清洁生产 环境污染
• 年，卷（期）: 2000,（8）
• 所属期刊栏目: 清洁生产
• 页码范围: 36-37
• 页数: 2页
• 分类号: X5
• 字数: 2784字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-9705.2000.08.014

摘要

在分析半导体制造过程中不同工艺产生的环境污染问题的基础上,讨论了半导体制造业开展清洁生产的原则和途径,介绍了一些成功的清洁生产方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余刚	清华大学环境科学与工程系	100	4075	33.0	63.0
2	罗玉(车舟)	清华大学环境科学与工程系	1	6	1.0	1.0