基于神经网络方法的半导体生产工艺优化

• 作者: 王向东 王守觉 石林初 陈咏梅
• 来源期刊: 半导体学报
• 关键词: 半导体生产 工艺优化 神经网络
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 192-196
• 页数: 5页
• 字数: 4455字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2000.02.017

摘要

以提高生产成品率为目标，利用神经网络的非线性和容错性，对半导体芯片生产过程进行了分析和优化，具体内容如下：(1)使用神经网络方法建立模型，确定生产线上工艺参数和成品率之间的映射关系，构造以工艺参数为输入，成品率为输出的多维函数曲面.(2)对上述多维函数曲面进行搜索，搜索成品率最高的最优点，以该最优点的工艺参数值为依据确定工艺参数的规范值.(3)对工艺参数规范进行优化，在实际生产工艺中反复实践，直至达到提高成品率的目的.生产实践证明，神经网络的分析结果是合理的.根据神经网络分析提出的优化建议，有效地提高了工序能力指数和产品成品率的一致性，具有实际应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石林初	华晶电子集团公司双极设计所	2	13	1.0	2.0