纳米晶SnO2气敏薄膜的制备与表征

• 作者: 刘冰冰 向思清 张彤 徐宝琨 朱玉梅 王立军 索辉 阮圣平
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: SnO2 纳米晶 气敏特性 场效应管
• 年，卷（期）: 2000,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 774-777
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3454字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2000.08.009

摘要

以Sn(OH)4水合胶体为原料,采用溶胶-凝胶方法在Si片上制备了SnO2纳米晶薄膜,利用差热、热重、X光衍射以及原子力显微镜对薄膜的合成以及特性进行了分析,结果表明:在600°C条件下烧结结晶的纳米晶薄膜表面平整,具有金红石结构,平均粒度在10nm左右.以该薄膜为敏感体采用平面工艺制成的FET式气敏元件在常温下对乙醇蒸汽具有非常好的选择性.