基于表面等离子体波共振技术的精密角度传感器

• 作者: 邓为民 郭继华
• 来源期刊: 清华大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高分辨角度测量 表面等离子体波共振 角度调制
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 12-14,18
• 页数: 4页
• 分类号: TH741.23
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.2000.02.004

摘要

为解决纳米技术中体积紧凑、高分辨率的测角问题,分析了表面等离子体波共振(SPR)的相位和振幅特征,根据共振角附近SPR的相位对入射角的高度敏感性,提出了基于表面等离子体波共振原理进行微小角度测量的方法,它具有测量分辨率高和体积紧凑的优点.研制了实验装置并进行了测角实验,测量分辨率达1.4×10-7 rad,长期稳定性偏差为4.8×10-7 rad.该方法可满足纳米机械的测角要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭继华	清华大学物理系	24	142	7.0	11.0
2	邓为民	清华大学物理系	2	45	2.0	2.0