高纯水与紫外线杀菌技术

• 作者: 沈健
• 来源期刊: 电子信息：印制电路与贴装
• 学科: 工学
• 关键词: 电子工厂 高纯水 紫外线杀菌技术
• 年，卷（期）: 2000,（10）
• 页码范围: 63-65
• 页数: 3页
• 分类号: TN082

摘要

紫外线杀菌装置在电子工业高纯水制造工艺中得到广泛应用。本文对紫外线杀菌原理、杀菌效果的影响因素、杀菌装置的构造等方面进行了讨论，并介绍了近年来开发的箱内浸水式杀菌装置。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈健		20	39	4.0	5.0