微型机电系统

• 作者: 刘卫丹 叶雄英 周兆英 李莎 王伯雄 王晓浩
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微型机电系统 微传感器 微执行器 微米/纳米技术
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 学科进展
• 页码范围: 163-168
• 分类号: TH-39
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2000.01.041

摘要

分析了微型机电系统的特点、主要科学技术问题、应用和市场.预计到2003年微小系统的市场约为400亿美元,是商用航空业的一半.简介了我国的研究情况.国际上微型机电系统技术刚走向全面发展,正是我国发展该领域的好时机.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英		205	3706	31.0	54.0
2	叶雄英		62	1070	15.0	31.0
3	王晓浩		69	765	13.0	25.0
4	王伯雄		68	667	12.0	24.0
5	李莎		3	145	2.0	3.0
6	刘卫丹		1	143	1.0	1.0