CVD金刚石涂层拉丝模的研制与应用

• 作者: 万永中 何贤昶 孙方宏 张志明 沈荷生
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石涂层 拉丝模 热丝CVD
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 分类号: TG5
• 字数: 3588字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2000.04.004

摘要

以市售大孔径(>φ2mm)硬质合金拉丝模为衬底,经酸腐蚀去钴、研磨和还原处理后,以氢气和丙酮为原料,用穿孔直拉热丝CVD法制备了金刚石涂层.利用扫描电镜和喇曼谱图对涂层均匀性进行了评估.初步应用试验表明,金刚石涂层的附着力能满足实际拉伸要求,涂层拉丝模的工作寿命可提高3～5倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙方宏	上海交通大学微电子技术研究所	91	969	17.0	25.0
2	张志明	上海交通大学微电子技术研究所	46	553	15.0	21.0
3	沈荷生	上海交通大学微电子技术研究所	45	494	12.0	20.0
4	何贤昶	上海交通大学微电子技术研究所	25	247	8.0	15.0
5	万永中	上海交通大学微电子技术研究所	9	70	5.0	8.0